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【24h】High productivity object-oriented defect detection algorithms for the new modular die-to-database reticle inspection platform

机译用于新型模块化芯片到数据库标线检查平台的高生产率面向对象的缺陷检测算法

【摘要】The paper presents a description of one of the main elements of a new modular automatic reticle defect inspection platform — a defect detection sub-system. This platform is currently under active development at Planar Concern. This paper presents the results of the use of the object-oriented approach which was used in the development of the defect detection algorithms for the die-to-database reticle inspection system. Furthermore, the paper presents' briefly the architecture and technology of the new modular automatic reticle inspection platform.

【摘要机译】本文介绍了新型模块化自动标线缺陷检查平台的主要元素之一-缺陷检测子系统。目前,Planar Concern正在积极开发该平台。本文介绍了使用面向对象方法的结果,该方法被用于模具到数据库标线检查系统的缺陷检测算法的开发中。此外,本文简要介绍了新型模块化自动光罩检测平台的体系结构和技术。

【作者】Syarhei Avakaw;

【作者单位】Planar State Scientific Production Concern for Precision Machine Building, Partizansky Ave, 2, 220763 Minsk, Republic of Belarus;

【年(卷),期】2005(),

【年度】2005

【页码】P.290-299

【总页数】10

【原文格式】PDF

【正文语种】eng

【中图分类】TB85;TN305.7;

【关键词】

机译 本文介绍了新型模块化自动标线缺陷检查平台的主要元素之一-缺陷检测子系统。;
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